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              產品展示 PRODUCTS

              去膠/顯影/清洗機

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              設備名稱

              顯影機

              用途

              可用于去膠、顯影等黃光區操作

              操作方式

              手動/半自動/自動

              適用領域

              半導體、LED芯片、MEMS等

              適用工藝

              勻膠、顯影、去膠

              顯影方式

              槽式

              適用尺寸

              2吋--12吋晶圓

              藥液供給

              手動或自動供給

              主體材質

              不銹鋼、PP、PVC

              槽體材質

              不銹鋼、PP、PVDF

              溫控精度

              ±1℃

              安全防護

              自動安全門、漏液報警、漏電保護、液位保護、急停、聲光報警系統

              模塊化設計

              滿足客戶多種工藝及產能的定制化要求

              可編程菜單,方便用戶操作,直觀

              實時流程顯示,可控性強

              多級密碼,方便管理,安全可靠

              自動保存生產數據

              可實現遠程控制

              可實現功能

              藥液管理系統(自動供液、自動補液、循環過濾)、機械拋動、恒溫系統、自動滅火

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