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              兆聲清洗機

              作者:   |   閱讀次數: 4709次

              設備名稱

              單片清洗機

              用途

              晶圓、掩膜版的清洗和甩干

              操作方式

              自動

              適用領域

              半導體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等

              適用工藝

              晶圓的RCA清洗、兆聲清洗和甩干

              清洗方式

              旋流式沖洗噴嘴,兆聲DIW清洗

              可清洗尺寸

              2吋--12吋晶圓

              真空值

              顯示屏同步顯示,可達≤-90KPa

              兆聲清洗

              兆聲頻率280-950KHz可選,功率可調;

              伺服電機

              采用進口專用旋轉電機,運行安靜平穩,0- 3500RPM+轉/秒加速僅需0.5秒

              真空吸盤

              采用PEEK、PTFE材質,強度高、耐腐蝕、密封性能好

              載片臺

              采用真空吸附+PIN定位,防止甩片碎片

              主體材質

              不銹鋼、PP、PVC

              槽體材質

              不銹鋼、PP、PVDF

              安全防護

              自動安全門、漏液報警、聲光報警系統

              模塊化設計

              滿足客戶多種工藝及產能的定制化要求

              可編程菜單,方便用戶操作,直觀

              實時流程顯示,可控性強

              多級密碼,方便管理,安全可靠

              自動保存生產數據

              可實現功能

              可裝配裝取片機器人

              可配置滾刷刷洗;

              化學液及純水自動供應,流量可視可調

              可實現遠程控制

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