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產(chǎn)品展示 PRODUCTS

兆聲清洗機

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設(shè)備名稱

單片清洗機

用途

晶圓、掩膜版的清洗和甩干

操作方式

自動

適用領(lǐng)域

半導(dǎo)體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等

適用工藝

晶圓的RCA清洗、兆聲清洗和甩干

清洗方式

旋流式?jīng)_洗噴嘴,兆聲DIW清洗

可清洗尺寸

2吋--12吋晶圓

真空值

顯示屏同步顯示,可達≤-90KPa

兆聲清洗

兆聲頻率280-950KHz可選,功率可調(diào);

伺服電機

采用進口專用旋轉(zhuǎn)電機,運行安靜平穩(wěn),0- 3500RPM+轉(zhuǎn)/秒加速僅需0.5秒

真空吸盤

采用PEEK、PTFE材質(zhì),強度高、耐腐蝕、密封性能好

載片臺

采用真空吸附+PIN定位,防止甩片碎片

主體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVC

槽體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVDF

安全防護

自動安全門、漏液報警、聲光報警系統(tǒng)

模塊化設(shè)計

滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

可編程菜單,方便用戶操作,直觀

實時流程顯示,可控性強

多級密碼,方便管理,安全可靠

自動保存生產(chǎn)數(shù)據(jù)

可實現(xiàn)功能

可裝配裝取片機器人

可配置滾刷刷洗;

化學(xué)液及純水自動供應(yīng),流量可視可調(diào)

可實現(xiàn)遠程控制